ICPT 2024 - International Conference on Planarization/ CMP Technology
日時:2024年10月16日(水)‐18日(金)
Kurhausplatz 1, 65189 Wiesbaden, Germany
参加登録:要事前登録(公式サイトからご登録いただけます)
主催:Society of Microelectronics, Microsystems and Precision Engineering (GMM)
より詳細な情報はイベント公式サイトよりご覧いただけます。
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本イベントにてFraunhofer ENAS(エレクトロ・ナノシステム研究所)とIPMS CNT(フォトニック・マイクロシステム研究所)の研究者が講演を行い、最新の研究成果をご紹介いたします。
(1) Fraunhofer ENAS
題目:Accelerating finite element simulations with machine learning to predict interfacial pressures in real-time
日時:10月16日(水) 14:35‐14:55
(2) Fraunhofer IPMS CNT
題目:Effect of increased slurry dwell time on polishing performance
日時:10月17日(木) 9:25‐9:45
また、Fraunhofer ENASのProf. Harald Kuhnが基調講演を行います。
題目:Challenges for hetero integration process technology, test and reliability
日時:10月18日(金) 8:00‐8:30