フラウンホーファー日本代表部ナノ･マイクロビジネス展
日時：2014年4月23日（水）-25日（金）
会場：パシフィコ横浜 ホールD
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フラウンホーファーENAS（エレクトロ･ナノシステム研究所）が出展します（小間番号：S-23）。
＜展示内容＞
- FPIフィルタ
- マイクロミラー
- RF-MEMS
- 高精度MEMS（傾度、ジャイロスコープ）
- 3Dインテグレーション（Si インターポーザ）
- 低温ボンディング（SLID、TKB）
- ナノポーラス金層