セミコン･ジャパン2010

日時：2010年12月1日-3日
会場：幕張メッセ（千葉）

フラウンホーファーIZM-ASSID（信頼性・マイクロインテグレーション研究所、All Silicon System Integration Dresden）およびフラウンホーファーIPA（生産技術・オートメーション研究所）がセミコン2010に出展します。
各研究所が提供するサービスは以下の通りです：

(小間番号: 7C-901-m)

フラウンホーファーIZM-ASSIDは、ウエハーレベルパッケージングの試作サービスを提供しています（200 mmと300 mm）。その設備は、材料、機器、およびプロセスの評価と改善を目的とした産業界による利用のほか、各種研究機関による研究開発活動にも活用されています。
フラウンホーファーIZM-ASSIDで提供している技術サービスは次の通りです。

• シリコン素子ウエハーへのTSV形成
• お客様固有の端子パッドメタラージを持つ再分配型レイヤー（RDL）
• TSVおよび多層RDLを持つシリコンインターポーザー
• ウエハーの薄膜化および薄膜ウエハー加工
• ウエハーレベルのバンピング（ファインピッチ）
• ウエハーレベルのアセンブリー
• お客様固有の試作

(小間番号: 7C-901-n)

20年以上の経験と最新のインフラを備えるフラウンホーファーIPAは世界的に有名なクリーンルームテストセンターであり、クリーンルーム認証、清浄度認証、プロセス・自動装置や部品、材料のクリーンルーム適性認証を行っています。

サービス・分析内容（抜粋）
• 粒子探知
• 粒子分析
• ガス放出（ガス状汚染物質）
• EDS
• 生物汚染
• 清浄度
• デザイン分析（GMP/EHEDG）
• 代謝能
• 対薬品性（殺菌剤）
• 殺菌剤
• 気流
• 表面品質

また、プロジェクトパートナー様にはクリーンルームに適したデザインに関するアドバイスも行い、ワークショップやクリーンルームでのトレーニングなども行っています。