イベント

日時：7月29日、10:30-16:45
場所：東京ビッグサイト、特設会場A
主催：マイクロマシンセンター
後援：経済産業省、新エネルギー･産業技術総合開発機構（NEDO）

フラウンホーファーENAS所長 Prof.GESSNERおよびフラウンホーファーIPMSのDr.SANDNERがマイクロマシンセンター主催の「第１５回国際マイクロマシン・ナノテ クシンポジウム - MEMS World-」に参加し、それぞれ「マイクロ・ナノへ向かう統合システム技術」および「シリコン光変調器の実現技術」について講演を行います。

<プログラム>

10:30-10:35
開催挨拶
（財）マイクロマシンセンター理事長　野間口　有氏

10:35-10:40
来賓挨拶
経済産業省　製造産業局　産業機械課長　米村　猛氏

- 基調講演- 最先端研究所へのMEMS研究開発の集約化
10:40-11:10
フランスにおけるMEMS、LETI/MINATECのR&Dモデルとビジョン
Mr. Andre ROUZAUD, Silicon Heterogenous Integration Dept., CEA-LETI. MINATEC

11:10-11:40
マイクロ・ナノへ向かう統合システム技術
Prof. Thomas GESSNER, フラウンホーファーENAS　所長

11:40-12:10
Worldwide Growth Opportunities for MEMS: MIG's Perspective on MEMS Activities in the US and Emerging Technologies
Ms. Karen LIGHTMAN, Managing Director, MEMS Industy Group

12:10-13:10 昼食

- セッション 1 - MEMSが拓く新しい世界（アプリケーション）
13:10-13:40
センサーネットワーク（仮題）
独立行政法人産業技術総合研究所　先進プロセス製造研究部門ネットワークセンシンググループ　グループ長　伊藤　寿浩氏

13:40-14:10
シリコン光変調器の実現技術
Dr. Thilo SANDNER, フラウンホーファーIPMS

14:10-14:40
安全･安心･健康を目指したウェアラブルエレクトロニクス
東京理科大学・総合研究機構　危機管理・安全科学技術研究部門長　教授
NPO　ウェアラブル環境情報ネット推進機構理事長　板生　清教授

14:40-15:10
Harsh Environment Wireless MEMS Sensors for Energy & Power
Prof. Albert P. PISANO, Department of Mechanical Engineering, UC Berkeley, BSAC

15:10-15:20 休憩

- セッション 2 - 開発現場のニーズに応える最新プロセス・材料技術動向
15:20-15:45
Can SOI break the MEMS law? A material supplier's view
Dr. Markku TILLI, Senior Vice President Research, Okmetic Oyj

15:45-16:10
Chip to Wafer接合の最新技術と今後の展望
Mr. Sunil WICKRAMANAYAKA, Director of Technology Div., EVGroup

16:10-16:35
Hermetic packaging designs of MEMS: past and future prospective
Mr. Marco MORAJA, Business Manager, Getter for MEMS, SAES Getters S.p.A.

16:35-16:45
閉会挨拶
（財）マイクロマシンセンター専務理事　青柳　桂一氏