イベント

ナノ粒子連続生成のためのモジュール式高温原子炉

フラウンホーファーICT-IMMは新型のナノ粒子連続生成のためのモジュール式高温原子炉を出展します。この原子炉は400℃までの高温で液相反応を起こすことができます。これによりナノ材料を生成するための一般的なプロトコル合成をバッチから連続方式に移行することができます。例として、CdSe量子ドット（QDｓ）、プラチナ、他の金属ナノ粒子や酸化物に用いられる有機金属合成が挙げられます。

写真上：ポリ乳酸複合ナノ粒子
写真下：CdSe量子ドット

ナノ粒子技術の研究領域において、フラウンホーファーIMMでは以下のような研究開発を行っています：

• 様々な特性のナノ粒子の生成、特性評価および医療・医薬品、消費財業界における応用可能性の検討
• バイオ・ナノインターフェイス、特定の応用に向けた人工的インターフェイスを持つマイクロ・ナノコロイドの作成、インテリジェントなポリマーベース粒子の開発と生成
• 様々な条件下における様々なナノ粒子材料の分析

その他、分散的・モバイルエネルギー技術、連続式化学工学、医療用プローブ、センサー、マイクロ流体分析システムの研究開発を得意としています。

Fraunhofer ICT-IMM
Carl-Zeiss-Str. 18-20
55118 Mainz, Germany

Dr. Ralph Sperling
Head of Nanoanalytics Group
Phone: +49-6131-990-246
E-Mail: Ralph.Sperling@imm.fraunhofer.de

REACH・RoHS適合厚膜ペースト

グリーンエネルギーやEモビリティの普及というグローバルなトレンドを反映し、パワーエレクトロニクスは様々な製品・システムの基盤技術となりつつあります。
フラウンホーファーIKTSでは窒化アルミニウム（AlN）や窒化ケイ素（Si3N4)用の高性能・厚膜スクリーン印刷ペーストをパワーエレクトロニクス・部品の優れたビルドアップ材として開発に注力しています。

レジスタの温度係数やはんだ接合の接着強度のような特性を微調整するため、新規添加剤や有機ビヒクルを採用、生産技術を改良しました。

どうぞブースにて「Pastemeleon」をご覧ください！

環境に優しい水系ナノ粒子印刷インクおよび多層マイクロシステム

回線経路やヒーターなど、マイクロエレクトロニクスデバイスを簡易に最適化するために必要な、非接触機能薄膜の印刷技術として、銀、銅、金、プラチナのインクを用いたインクジェットやエアロゾル印刷による直接配線技術が有望視されています。

フラウンホーファーIKTSでは、ポリマーやセラミックス基板用に環境に優しい水系のナノ粒子印刷インクを開発しています。低温同時焼成セラミックス（LTCC）の表面実装デバイスの配線へのナノインクの応用や極度にロバストなセラミックス多層積層加速度センサーなどをブースでご覧いただけます。

フラウンホーファーIKTSは高性能セラミックスの分野における応用指向の研究開発を行っています。研究・技術サービス機関として、最先端の高性能セラミックス材料、産業にとって重要な製造プロセス、プロトタイプやシステムの開発をパイロットスケールの生産ラインで行っており、機械・プラント工学、エネルギー・環境技術、光学、医療技術、マイクロシステム技術にとって価値のあるソリューションをセラミックスでご提供することを使命としています。

また材料診断や試験などのサービスも展開しています。お客様の製品やシステムの品質を保証するための試験には、音響、電磁気、光学、顕微鏡、レーザー技術などが多用されています

Fraunhofer Institute for Ceramic Technologies and Systems IKTS
Winterbergstrasse 28, 01277 Dresden, Germany
www.ikts.fraunhofer.de

Dr. Markus Eberstein
Phone +49 351 2553-7518
markus.eberstein@ikts.fraunhofer.de

Dr. Nikolai Trofimenko
Phone +49 351 2553-7787
nikolai.trofimenko@ikts.fraunhofer.de

磁場センサー

フラウンホーファーENASは2次元のベクトル分解で距離、速度、角度を非接触測定する新しいタイプのスピントロニクス磁場センサーをご紹介します。磁場センサーの機能は巨大磁気抵抗効果（GMR）をベースにしており、作製にはPVDやプラズマエッチングなどのプロセス技術が応用されています。これらのマイクロ･ナノテクノロジーのおかげで、非常に高い信号対雑音比、極めて短い応答時間、小型化、エネルギー消費量の低減が可能になっています。またGMRセンサーには生体適合性があります。航空･宇宙産業や自動車産業から医用工学用デバイスなど様々な応用が考えられます。

カーボンナノチューブの統合とアプリケーション

フラウンホーファーENASはカーボンナノチューブ（CNT）のようなナノ材料の統合、およびエレクトロニクスやセンサーへの応用について研究しています。CNT材料の生成のためのウエハレベル技術、調整材料、CNTの部位選択的な成長、コンタクトデザイン、CNTデバイスの作製などが研究テーマです。ターゲットアプリケーションは、通信アプリケーションや超高感度・小型センサーのためのCNT高周波電界効果トランジスタです。

研究開発活動のテーマ：

• ナノ材料の統合のためのウエハスケール技術
• 相互接続システムやMEMS/NEMSへのCNTの統合
• 高周波アナログアプリケーション用CNT-FET
• CNTセンサー（MEMS/NEMSのピエゾ抵抗素子など）
• ウエハスケールでのCNTへの化学蒸着
• ウエハスケールでのCNTの誘電泳動集積

低温接合

フラウンホーファーENASでは以下のような低温接合技術をご案内しています：

• ナノスケールの反応層を用いた室温接合
• 陽極接合（ガラス/Si）
• 直接接合（ガラス/ガラス；ガラス/Si；SiSi）
• 接着（SU-8；BCB）
• 固液相相互拡散接合（CuSn）
• 熱圧着

フラウンホーファーENAS（エレクトロ･ナノシステム研究所）はマイクロ・ナノテクノロジーを用いたスマートシステムインテグレーションに注力し、以下のような分野におけるサービスを行っています：

• MEMS、NEMSの開発、デザインおよびテスト
• MEMS/NEMSのウエハレベルのパッケージング、ウエハ接合、低温接合
• マイクロ･ナノエレクトロニクスのためのめっき、相互接合システムおよび三次元インテグレーション
• 材料開発・特性解析を含む印刷技術
• マイクロ･ナノシステムの信頼性および安全性

仙台市には東北大学とフラウンホーファーENASの協働研究開発拠点として「東北大学におけるNEMS/MEMSに関するデバイスおよび製造のためのフラウンホーファー・プロジェクトセンター」が開設されています。プロジェクトセンターは連携研究開発、技術移転、トレーニング・教育プログラムの拠点として双方の利益となるよう運営されています。

Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS
Technologie-Campus 3
09126 Chemnitz, Germany
www.enas.fraunhofer.de

Prof. Dr. Thomas Gessner
Director
Phone: +49 371 45001-100
e-mail: thomas.gessner@enas.fraunhofer.de

Jörg Frömel
Phone: +49 371 45001-260
e-mail: joerg.froemel@enas.fraunhofer.de

フラウンホーファーISCは、ナノ材料を用いたアプリケーションのデモ機やプロトタイプなどを展示します：

• 電気相互接続技術のためのlow-k、high-k誘電材料およびパッシベーション
• 集積光学、フォトニクスのための低・高屈折光学マトリックス
• 食品パッケージ、フォトニクス、太陽電池、ディスプレイ技術のためのウルトラバリア材料
• 耐磨耗機能性コーティング
• 検出・作動装置のためのピエゾ材料
• 反射防止、フィルタリングのための無機酸化多層膜
• 多機能膜・デバイスのための機能性ナノ粒子
• バッテリー・スーパーキャパシタのための電解質およびナノ電極
• 透明なエレクトロニクスのためのプリンタブル金属酸化物
• 太陽電池やOLEDアプリケーションに使用できる散乱層

さらに、フラウンホーファーISCのナノ材料を用いた集積回路の新しい印刷アプローチや二光子吸収技術とISCナノ材料をベースにした新しいプロセスなどを展示します。

フラウンホーファーISCは、カスタマイズされたアプリケーションのために新しい特性または改良された特性を伴う材料開発、またそれらの製造・加工方法の開発に注力しています。
われわれが最優先に目指すのは、お客様やパートナー様のビジネスの成功です。

フラウンホーファーISCのコア･コンピテンスは自己資金による基礎研究によるものであり、さらに市場で求められる要件を視野に入れています。

コアコンピテンス：

• 化学的ナノテクノロジーを含む技法を用いた無機・ハイブリッド機能性材料、セラミックスやガラスの生成
• 懸濁液、粉末、繊維、コーティング、微細構造、複合材料のための材料プロセス技術および機能モデルの構築
• 材料の特性評価、分析、最適化、高温プロセスのモニタリング方法

Fraunhofer ISC
Neunerplatz 2, 97082
Würzburg, Germany

Dr. Michael POPALL
Head of ISC International
Phone: (+)49 - 931 4100 522
Fax: (+)49 - 931 4100 559
michael.popall@isc.fraunhofer.de

Gerhard DOMANN
Head of Competence Unit Optics & Electronics
Phone: (+)49 - 931 4100 551
Fax: (+)49 - 931 4100 559
gerhard.domann@isc.fraunhofer.de