イベント

日時：2013年2月22日（金）
会場：東北大学青葉山キャンパス 青葉記念会館4階（仙台）
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WPI-AIMR and Fraunhofer ENAS Joint Workshopにおいて、フラウンホーファーENAS（エレクトロ・ナノシステム研究所）の研究者が講演します。


＜プログラム＞

10:00 - 10:10　開会挨拶
　　　　　　　　小谷元子、東北大WPI-AIMR機構長

第1部　NEMS/MEMS とナノ材料を活かした受動素子 (JST-DFG 日独研究交流成果報告)

10:10 - 10:30　樹脂接合によるMEMS-LSI のヘテロ集積化
　　　　　　　　江刺正喜、東北大WPI-AIMR
　　　　　　　　田中秀治、東北大工学研究科

10:30 - 11:00　マイクロ・ナノ技術によるスマートシステム集積化
　　　　　　　　Thomas Gessner、フラウンホーファーENAS

11:00 - 11:25　ナノ材料の集積化による3 次元インダクタ
　　　　　　　　Yu-Ching Lin、東北大WPI-AIMR

11:25 - 11:50　NEMS/MEMS 製作における機能性液体
　　　　　　　　Felix Gabler、フラウンホーファーENAS

11:50 - 12:15　異種基板のウェハレベル低温接合
　　　　　　　　Jörg Frömel、フラウンホーファーENAS

Lunch break

第2部　機能性材料の集積化

13:30 - 14:00　[特別講演] デバイス応用に向けたデアロイ化によるナノポーラス金属
　　　　　　　　Mingwei Chen、東北大WPI-AIMR

14:00 - 14:30　[招待講演] Nd 添加PZT 薄膜による広走査角圧電MEMS ミラー
　　　　　　　　直野崇幸、富士フィルム

14:30 - 14:50　金属ガラス薄膜を用いたMEMS スイッチ
　　　　　　　　Yu-Lang Chu、フラウンホーファーENAS

14:50 - 15:10　磁性金属ガラス薄膜によるMEMS マイクロミラー
　　　　　　　　Yao-Chuan Tsai、東北大WPI-AIMR

15:10 - 15:30　L10FePt によるパターンド記録メディアの製作
　　　　　　　　Neelam Kaushik、東北大WPI-AIMR

Coffee break

第3部　マイクロデバイスとその製作

15:45 - 16:15　[招待講演] MEMS 技術による高性能RF デバイスの開発
　　　　　　　　池田浩一、ソニー

16:15 - 16:35　集積化触覚センサデバイス
　　　　　　　　室山真徳、東北大WPI-AIMR

16:35 - 16:55　高スループット細胞分析のための局所酸化還元サイクルによる
　　　　　　　電気化学チップ
　　　　　　　　伊野浩介、東北大環境科学研究科

16:55 - 17:15　筋肉組織を作るマイクロ技術
　　　　　　　　Samad Ahadian、東北大WPI-AIMR

17:15　閉会挨拶
　　　　江刺正喜

Closing

18:00 - 20:00　交流会


参加費：無料（交流会費用：5,000円）
申込締切：2013年2月8日（金）（交流会）



プログラムの詳細およびお申し込みは、PDFファイルを参照ください：