イベント

マイクロマシン/MEMS展

日時: 2011年07月13日(水)-15日(金) 10:00-17:00
会場: 東京ビッグサイト 東ホール


フラウンホーファーENAS(エレクトロ・ナノシステム研究所)とフラウンホーファーIPMS(フォトニクス・マイクロシステム研究所)が世界最大規模のMEMS、超精密・微細加工、ナノテク、バイオに関する国際展示会「マイクロマシン/MEMS展」に出展し、以下の研究開発テーマをご紹介します。

フラウンホーファーENAS(東ホール1&2 ブースL-18):
- ナノ多孔性金によるウェハ接合技術
- 高周波スイッチ
- 低温接合プロセス技術
- 湿度センサ
- 電気駆動シーリングリング
- グリースモニタリングセンサ
- ASTROSE:高電圧送電系統の容量モニタリング用センサーネットワーク


フラウンホーファーIPMS(東ホール1&2 ブースL-24):
- 複雑な光学系を用いないMEMSベースの内視顕微鏡 (プレス・リリースこちらへ)
- 一次元マイクロミラーベースの光モジュレータ
- LDC(光偏光キューブ)- 一次元スキャナモジュール

公式ホームページ



また、同時開催される「日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム」では、フラウンホーファーENASのProf. Dr. Thomas Geßner と Jörg Frömel、フラウンホーファーENASの協力パートナー東北大学の江刺正義教授、フラウンホーファーIPMSのDr. Steffen Sinningが、それぞれ以下のテーマで講演します。

日時:07月14日(木)、10:30-14:50
会場:東京ビッグサイト 東1ホール内 特設会場A

10:40-11:00 江刺 正喜 教授 「東北大学のマイクロシステム融合研究開発センター」
11:00-11:30 Prof. Dr. Thomas Geßner 「高度MEMS技術を用いたスマートシステム融合」
13:40-14:00 Dr. Steffen Sinning 「光MEMSベースの高度調光システム」
14:00-14:20 Jörg Frömel 「MEMSのための革新的材料〜日独共同の成功例〜」

プログラムはこちら