イベント

日時: 2011年07月13日（水）-15日（金） 10：00－17：00
会場: 東京ビッグサイト　東ホール

フラウンホーファーENAS（エレクトロ･ナノシステム研究所）とフラウンホーファーIPMS（フォトニクス･マイクロシステム研究所）が世界最大規模のMEMS、超精密・微細加工、ナノテク、バイオに関する国際展示会「マイクロマシン／MEMS展」に出展し、以下の研究開発テーマをご紹介します。

フラウンホーファーENAS（東ホール1&2　ブースL－18）：
-　ナノ多孔性金によるウェハ接合技術
-　高周波スイッチ
-　低温接合プロセス技術
-　湿度センサ
-　電気駆動シーリングリング
-　グリースモニタリングセンサ
-　ASTROSE：高電圧送電系統の容量モニタリング用センサーネットワーク

フラウンホーファーIPMS（東ホール1&2　ブースL-24）：
-　複雑な光学系を用いないMEMSベースの内視顕微鏡 （プレス・リリースこちらへ）
-　一次元マイクロミラーベースの光モジュレータ
-　LDC（光偏光キューブ）-　一次元スキャナモジュール

公式ホームページ

また、同時開催される「日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム」では、フラウンホーファーENASのProf. Dr. Thomas Geßner と Jörg Frömel、フラウンホーファーENASの協力パートナー東北大学の江刺正義教授、フラウンホーファーIPMSのDr. Steffen Sinningが、それぞれ以下のテーマで講演します。

日時：07月14日（木）、10:30－14:50
会場：東京ビッグサイト　東1ホール内　特設会場A

10:40－11:00　江刺 正喜　教授　「東北大学のマイクロシステム融合研究開発センター」
11:00－11:30　Prof. Dr. Thomas Geßner　「高度MEMS技術を用いたスマートシステム融合」
13:40－14:00　Dr. Steffen Sinning　「光MEMSベースの高度調光システム」
14:00－14:20　Jörg Frömel　「MEMSのための革新的材料〜日独共同の成功例〜」

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