マイクロマシン／MEMS展

日時：2010年7月28日-30日
会場：東京ビッグサイト　東ホール

今年もフラウンホーファー研究機構よりフラウンホーファーENAS（エレクトロ･ナノシステム研究所、ブース：G-38）とIPMS（フォトニクス･マイクロシステム研究所、ブース：G-37）が世界最大規模のMEMS、超精密・微細加工、ナノテク、バイオに関する国際展示会「マイクロマシン／MEMS展」に出展します。

フラウンホーファーIPMS: 高解像度マイクロミラーアレイ技術

フラウンホーファーIPMS（フォトニック・マイクロシステム研究所）は適応光位相制御など多数のアプリケーションに応用が可能なピストンマイクロミラーアレイ技術開発において大きな進歩を遂げました。
試験装置上でも光経路変調が3μmを大幅に超えて拡張されたことが証明されており、ミラー技術を用いれば能動CMOS回路への大規模集積も可能です。

フラウンホーファーENAS: SensLogデータロガー

SensLogデータロガーは、常時または状況により、温度と加速現象（衝撃、勾配）を計測・記録するために用いられます。記録された現象はタイムスタンプとともに記録され、データはUHF RFIDインターフェースを介して読み込むことも可能です。