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フラウンホーファーIPMS：東５ホール、ブースE-17

ドレスデンに研究所を構えるフラウンホーファーIPMS（光学マイクロシステム研究所）は、MEMS・OLEDデバイスの開発および研究 所内クリーンルームでのデバイス製造を行っています。マイクロエレクトロニクスやマイクロシステム技術の分野において、アイデアを商品につなげる産業界の パートナーとしてお客様のニーズに沿った開発を手がけています。最先端設備や約200名の科学者・エンジニアを抱えるフラウンホーファーIPMSは、セン サー、アクチュエーターシステム、マクロスキャナー、空間光変調器、ライフトロニクス、有機マテリアル・システムの分野ですでに幅広いプロジェクトに携 わっています。

マイクロマシン／MEMS展では、以下の展示を行います。

1.LAMDA
今回のマイクロマシン展では世界に先駆け、3D距離測定用大面積MEMSスキャナモジュールLAMDAを世界初公開いたします。LAMDAは、特にレー ザーレーダーシステム用に設計された新しい1次元 MEMSスキャナモジュールです。LAMDAモジュールは今までにない同一MEMSミラー要素の同期配列という新しいコンセプトを採用しています。このフ レキシブルMEMS技術のおかげで、ライダー（LIDAR）受信部の反射面が大きくなり、高い信頼度を保ちながらもスキャンスピードの高速化、コンパクト 化、軽量化が可能になります。

2. MEMS空間光変調器デモンストレータ
MEMS空間光変調器（SLM）は、高空間分解能を用いて同時に光の入射ビームの横断面を調節するために使われます。濃度を生み出すために時分割多重化を 用いるプロジェクターのデジタルSLMとは対照的に、フラウンホーファーIPMSが開発したSLMはチップに直接アナログ彩度をもたせることができるアナ ログ電圧を搭載しています。

3. マイクロスキャン–１次元スキャナモジュール
モジュラープラットフォームアプローチは、マイクロスキャナ・ダイスの供給からお客様のアプリケーションに最終統合するまでのギャップを埋めるために開発されました。

4. MEMSアダプティブオプティクス
アダプティブオプティクス（AO）は主に、不均質・乱流媒質を通じた光学的画像強化のための光学システム内において、さまざまな空間的・時間的波面撹乱を補償するために用いられます。

詳細・お問い合わせ先：
Fraunhofer IPMS
Marketing / Public Relations
Ines Schedwill
Tel.: +49 (0) 351/8823-238
e-mail: Ines.Schedwill@ipms.fraunhofer.de
Maria-Reiche-Str. 2
01109 Dresden
GERMANY