フラウンホーファー in Japan

フラウンホーファー・プロジェクトセンター at 東北大学は、東北大学とフラウンホーファーENAS(エレクトロ・ナノシステム研究所)の共通研究開発基盤であり、以下の活動を通して双方の目的を達成するために設立されました。

  • 主にNEMS/MEMSとマイクロ・ナノ製造技術に焦点をあてた、マイクロシステムのための新材料開発とその応用、および先端製造技術開発における研究開発協力
  • 新材料製造技術に関する研究成果の商品化と、産業界、特にマイクロシステムや半導体デバイス製造業への技術移転の促進
  • マイクロ・ナノシステムの産業界における新市場の開拓
  • フラウンホーファー研究機構と日本の研究機関および企業パートナーとの協力支援
  • 共同研究プログラムを通した次世代の研究者、エンジニアおよび技術者の育成

フラウンホーファーENASと東北大学は、長年にわたりマイクロ・エレクトロニクス・システムのための新素材開発分野において協力関係を重ねてきました。2005年に締結されたフラウンホーファーと仙台市の協力協定は、2013年に2度目の更新が行われました。また、2008年からフラウンホーファーENASのゲスナー所長が東北大学原子分子材料科学高等研究機構(AIMR)における世界トップレベル研究拠点プログラム(WPI)の主任研究者として、東北大学の江刺研究室内にNEMS/MEMSデバイスおよびマイクロ・ナノ製造技術分野の研究グループを持ち活動しています。

この協力関係をさらに強化するため、2012年4月1日フラウンホーファーENASと東北大学WPI-AMIRは、東北大学内に共同戦略研究のための研究開発ユニット「東北大学におけるNEMS/MEMSに関するデバイスおよび製造のためのフラウンホーファー・プロジェクトセンター」創設しました。

フラウンホーファー・プロジェクトセンターでは、以下の分野で研究開発サービスを提供しています

  • スマートシステム
  • NEMS/MEMSの設計から試作まで
    • シリコン系材料を用いたNEMS/MEMS
    • 新素材(パラジウム系アモルファス金属、ガリウムなど)を用いたNEMS/MEMS
  • NEMS/MEMS、スマートシステムおよびシステム・インテグレーションのための技術
    • NEMS/MEMS用シリコン系技術
    • ポリマー系技術
    • システム・インテグレーション(ウエハ接合、3次元集積とパッケージングなど)
    • 基盤技術(例:リソグラフィー、薄膜形成、エッチングなど)
  • 設計、評価および信頼性向上のための試験、モデリング、解析

お問い合わせ

東北大学 原子分子材料科学高等研究機構(WPI-AIMR)
〒980-8577 仙台市青葉区片平2-1-1

江刺 正喜 教授
Phone:    +81 22 305 2351
E-mail:    esashi@mems.mech.tohoku.ac.jp

田中 秀治 教授
Phone:    +81 22 795 6934
E-mail:    tanaka@mems.mech.tohoku.ac.jp

ドイツにおけるお問い合わせ先

フラウンホーファーENAS(エレクトロ・ナノシステム研究所)
Technologie-Campus 3
09126 Chemnitz
Germany

Prof. Dr. Thomas Geßner (トーマス・ゲスナー)
Phone:    +49 371 45001-100
E-mail:    thomas.gessner@enas.fraunhofer.de

Jörg Frömel (ヨーク・フロメル)
Phone:    +49 371 45001-260
E-mail:   joerg.froemel@enas.fraunhofer.de